一種晶舟盒

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310707175.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103730396A 公開(kāi)（公告）日 2014-04-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN103730396A 申請(qǐng)公布日 2014-04-16
分類號(hào) H01L21/673(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 丁奎 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 徐州萬(wàn)邦道路工程裝備服務(wù)股份公司
代理機(jī)構(gòu) 徐州支點(diǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 徐州萬(wàn)邦道路工程裝備服務(wù)股份公司
地址 221000 江蘇省徐州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)第二工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種晶舟盒，包括U型盒蓋和放置晶圓的盒體。U型盒蓋內(nèi)側(cè)鍍有反光層，通過(guò)鉸鏈與盒體連接。打開(kāi)合蓋后，通過(guò)鍍層的反光與聚焦，可以方便的判斷晶圓的正反面。