寬調(diào)諧范圍光譜成像傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811299568.2 申請日 -
公開（公告）號 CN109269644A 公開（公告）日 2020-10-02
申請公布號 CN109269644A 申請公布日 2020-10-02
分類號 G01J3/433;G01J3/42;G01J3/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉舒揚;王天鶴;賈曉東 申請（專利權(quán)）人 航天光電科技發(fā)展（天津）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中國兵器工業(yè)集團(tuán)公司專利中心 代理人 周恒
地址 300308 天津市東麗區(qū)空港經(jīng)濟(jì)區(qū)中環(huán)西路58號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于光譜分析技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種寬調(diào)諧范圍光譜成像傳感器，該傳感器是由分布式布拉格鏡形成FP腔結(jié)構(gòu)與圖像傳感器接合或一體式單片集成加工形成的。與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本發(fā)明基于MEMS可調(diào)諧法珀腔光譜過濾原理，提供一種法珀腔與CMOS圖像傳感器單片集成的光譜圖像傳感器結(jié)構(gòu)，形成了具有特定的光譜過濾分光特性的微型光電圖像傳感器。本發(fā)明對布拉格鏡的膜系中心波長進(jìn)行了獨特的優(yōu)化設(shè)計，保證了MEMS驅(qū)動FP腔長調(diào)諧波長的過程中，濾波帶寬的最優(yōu)化，避免往短波調(diào)諧時，造成濾波帶寬的迅速惡化，提高了可調(diào)諧光譜成像傳感器的光譜分辨率。