多孔薄膜及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710050807.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106823844B 公開（公告）日 2019-09-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN106823844B 申請(qǐng)公布日 2019-09-27
分類號(hào) B01D71/02;B01D69/02;B01D67/00 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 宋斌;周超;梁金葵;付振曉;沓世我;王文長(zhǎng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣東芯陶微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 廣東風(fēng)華高新科技股份有限公司;風(fēng)華研究院（廣州）有限公司
地址 526020 廣東省肇慶市風(fēng)華路18號(hào)風(fēng)華電子工業(yè)城
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種多孔薄膜及其制備方法，方法包括以下操作：將無機(jī)粉體、造孔劑、有機(jī)溶劑、分散劑和消泡劑混合，第一次研磨，得到混懸液，其中，以質(zhì)量份數(shù)計(jì)，無機(jī)粉體為30份～40份，造孔劑為5份～15份，有機(jī)溶劑為15份～25份，分散劑為0.3份～5.5份，消泡劑為0.1份～1份；向混懸液中加入粘接劑和流平劑，第二次研磨，過濾，收集濾液，得到漿料，其中，以質(zhì)量份數(shù)計(jì)，粘接劑為15份～38份，流平劑為0.1份～1.5份；排膠燒結(jié)漿料，得到多孔薄膜。上述多孔薄膜的制備方法，在制備過程中添加分散劑和流平劑，提高了制備得到漿料的均勻性，再將得到漿料進(jìn)行排膠燒結(jié)，使得制備得到的多孔薄膜成孔均勻性好，有利于實(shí)際生產(chǎn)與應(yīng)用。