含苯并噁嗪結(jié)構(gòu)的共聚物成膜樹脂及其深紫外負(fù)性化學(xué)增幅型光刻膠

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910058004.4 申請日 -
公開（公告）號 CN101463106B 公開（公告）日 2010-07-28
申請公布號 CN101463106B 申請公布日 2010-07-28
分類號 C08F212/14(2006.01)I;C08F212/32(2006.01)I;C08F216/12(2006.01)I;C08F222/40(2006.01)I;C08F8/32(2006.01)I;G03F7/038(2006.01)I 分類 有機高分子化合物；其制備或化學(xué)加工；以其為基料的組合物;
發(fā)明人 楊剛 申請（專利權(quán)）人 成都金槳高新材料有限公司
代理機構(gòu) 成都信博專利代理有限責(zé)任公司 代理人 舒啟龍
地址 610041 四川省成都市高朋大道5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種含苯并噁嗪結(jié)構(gòu)的共聚物成膜樹脂，由共聚單體在自由基引發(fā)劑存在的條件下，通過在溶劑中進(jìn)行聚合反應(yīng)，以及相應(yīng)的后處理制備而成，共聚單體為：含羥基苯乙烯單體(40～90份重量)、含苯并噁嗪結(jié)構(gòu)的單體(5～40份重量)、丙烯酸酯類單體或/和苯乙烯類單體(1～40份重量)；共聚物成膜樹脂的分子量為2000～40000，分子量分布為1.3～3。上述負(fù)性光刻膠主要由成膜樹脂、光致產(chǎn)酸劑、交聯(lián)劑、溶劑、有機堿、溶解抑制劑組成。本發(fā)明通過在聚對羥基苯乙烯主鏈(或側(cè)鏈)上引入苯并噁嗪結(jié)構(gòu)，提高成膜樹脂的耐熱性和熱穩(wěn)定性，并解決了光刻膠膜在烘烤時出現(xiàn)的收縮和熱穩(wěn)定性問題。