一種高純碲化鎵多晶合成生產(chǎn)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110777597.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113481604A 公開（公告）日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN113481604A 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類號(hào) C30B29/46（2006.01）I;C30B28/12（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 盧鵬薦;曾小龍;張林;范晨光;夏文俊;胡振權(quán);范小志 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 武漢拓材科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 湖北天領(lǐng)艾匹律師事務(wù)所 代理人 王能德
地址 436000湖北省鄂州市葛店開發(fā)區(qū)光谷聯(lián)合科技城C3-3棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高純碲化鎵多晶合成生產(chǎn)裝置，具體涉及半導(dǎo)體材料制備技術(shù)領(lǐng)域，包括生產(chǎn)底座，所述生產(chǎn)底座上表面的四角處均固定連接有固定支架，且四個(gè)固定支架的相對(duì)面通過銷軸分別與四個(gè)限位框架相遠(yuǎn)離的一面固定連接，且四個(gè)限位框架相對(duì)面的一端通過銷軸與同一個(gè)石英帽的外表面活動(dòng)連接，所述石英帽的下表面設(shè)置有密封圈。本發(fā)明通過設(shè)置限位框架、石英管、石英帽和滑輪，由于限位套固定在石英帽的表面，使得移動(dòng)石英帽的過程中，石英帽不易出現(xiàn)脫落的情況，且工作人員可以方便的對(duì)石英帽進(jìn)行安裝和拆卸，使得工作人員無需反復(fù)切割更換石英帽以及石英管，保障了石英管和石英帽的使用壽命，進(jìn)而提高了該生產(chǎn)裝置的環(huán)保性。