一種低成本LPCVD用載料舟及其制備方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010504497.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111627848A | 公開（公告）日 | 2020-09-04 |
| 申請公布號(hào) | CN111627848A | 申請公布日 | 2020-09-04 |
| 分類號(hào) | H01L21/673(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 居建華 | 申請（專利權(quán)）人 | 無錫永邁光伏科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州根號(hào)專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 無錫永邁光伏科技有限公司 |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)無錫中關(guān)村軟件園21號(hào)樓(A3棟)117室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種低成本LPCVD用載料舟及其制備方法，它包括：金屬骨架，所述金屬骨架包括多塊支撐板和連接桿組，多塊所述支撐板相對且間隔設(shè)置；所述連接桿組包括連接多塊所述支撐板的至少一根第一連接桿以及連接多塊所述支撐板且與所述第一連接桿相平行的多根第二連接桿，所述第一連接桿與多根所述第二連接桿處于不同平面內(nèi)，所述第一連接桿在多根所述第二連接桿所處平面內(nèi)的投影落在間距最大兩根所述第二連接桿之間；涂層，所述涂層形成在所述金屬骨架的表面。從而減少LPCVD工藝的石英舟成本，可實(shí)現(xiàn)重復(fù)使用。?? |
