條紋相移與條紋細分聯(lián)合控制的超精密位移定位檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410401098.1 申請日 -
公開（公告）號 CN104165595B 公開（公告）日 2017-01-11
申請公布號 CN104165595B 申請公布日 2017-01-11
分類號 G01B11/04(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 時輪;陳家寶 申請（專利權）人 上海智邦源智能科技有限公司
代理機構 上海交達專利事務所 代理人 王毓理;王錫麟
地址 200240 上海市閔行區(qū)東川路800號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種儀器及其部件的位置或狀態(tài)的調整領域的基于條紋相移與條紋細分聯(lián)合控制的超精密位移定位檢測方法，首先對線性位移平臺進行粗定位，當光柵定位距離小于光柵干涉儀參考光柵的光柵常數(shù)時，將干涉條紋相移，然后對條紋信號進行細分處理，當線性位移平臺運動到預定的條紋細分結束區(qū)間時停止運動，實現(xiàn)微定位。本發(fā)明通過干涉條紋的相移提高檢測分辨率，通過低倍數(shù)的條紋細分完成模擬量檢測的反饋控制，進而實現(xiàn)超精密的位移定位檢測控制。