基于虛擬光柵尺的主動(dòng)型超精密位移定位檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410401099.6 申請日 -
公開（公告）號 CN104181939B 公開（公告）日 2016-08-31
申請公布號 CN104181939B 申請公布日 2016-08-31
分類號 G05D3/12(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 時(shí)輪 申請（專利權(quán)）人 上海智邦源智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海交達(dá)專利事務(wù)所 代理人 王毓理;王錫麟
地址 200240 上海市閔行區(qū)東川路800號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種位置或方向的控制領(lǐng)域的基于虛擬光柵尺的主動(dòng)型超精密位移定位檢測方法，該方法首先進(jìn)行宏定位，當(dāng)定位位移小于條紋當(dāng)量時(shí)上下移動(dòng)光柵相位從而形成兩路虛擬光柵尺信號，兩路虛擬光柵尺信號分別對應(yīng)上下兩個(gè)移動(dòng)方向，對兩路虛擬光柵尺信號進(jìn)行脈沖計(jì)數(shù)反饋控制以實(shí)現(xiàn)微定位。本發(fā)明形成具有雙路輸出信號的虛擬光柵尺輸出脈沖，實(shí)現(xiàn)以虛擬光柵尺信號為反饋脈沖的閉環(huán)脈沖反饋控制以提高定位系統(tǒng)的檢測控制精度。