基于虛擬光柵尺的主動型超精密位移定位檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410401099.6 申請日 -
公開（公告）號 CN104181939A 公開（公告）日 2014-12-03
申請公布號 CN104181939A 申請公布日 2014-12-03
分類號 G05D3/12(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 時輪 申請（專利權(quán)）人 上海智邦源智能科技有限公司
代理機構(gòu) 上海交達專利事務所 代理人 王毓理;王錫麟
地址 200240 上海市閔行區(qū)東川路800號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種位置或方向的控制領域的基于虛擬光柵尺的主動型超精密位移定位檢測方法，該方法首先進行宏定位，當定位位移小于條紋當量時上下移動光柵相位從而形成兩路虛擬光柵尺信號，兩路虛擬光柵尺信號分別對應上下兩個移動方向，對兩路虛擬光柵尺信號進行脈沖計數(shù)反饋控制以實現(xiàn)微定位。本發(fā)明形成具有雙路輸出信號的虛擬光柵尺輸出脈沖，實現(xiàn)以虛擬光柵尺信號為反饋脈沖的閉環(huán)脈沖反饋控制以提高定位系統(tǒng)的檢測控制精度。