一種MEMS微型拉曼光譜儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720271500.8 申請日 -
公開（公告）號 CN207020083U 公開（公告）日 2018-02-16
申請公布號 CN207020083U 申請公布日 2018-02-16
分類號 G01N21/65 分類 測量；測試;
發(fā)明人 聶新明;田亞平;韓彩芹;朱超 申請（專利權(quán)）人 徐州市江蘇師范大學激光科技有限公司
代理機構(gòu) 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 江蘇師范大學
地址 221000 江蘇省徐州市銅山新區(qū)上海路101號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種MEMS微型拉曼光譜儀，包括采樣模塊、控制顯示模塊、MEMS色散模塊，本實用新型的各個模塊的集成程度更高，更容易縮小設備體積，可以做成手持式光譜儀，而且本實用新型可以對激光照明系統(tǒng)與拉曼散射光的透鏡共光路產(chǎn)生的雜散光進行嚴格的抑制，本實用新型采用嵌入式操作系統(tǒng)完成數(shù)據(jù)處理功能，可以實現(xiàn)手持式使用，完全脫離電腦而獨立工作，本實用新型采用采用MEMS技術(shù)光柵與可動F?P腔集成的色散，可以保證在較寬的自由光譜范圍的同時，又能夠獲得較窄的半峰全寬，獲得高的光譜分辨率。