掩模數(shù)據(jù)切割方法和裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110607431.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113378507A 公開（公告）日 2021-09-10
申請公布號 CN113378507A 申請公布日 2021-09-10
分類號 G06F30/392（2020.01）I;G06F30/398（2020.01）I 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 張榮佳;韓春營;俞宗強;蔣俊海 申請（專利權(quán)）人 中科晶源微電子技術(shù)（北京）有限公司
代理機構(gòu) 北京市鼎立東審知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳佳妹;朱慧娟
地址 102600北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)海四路156號院12號樓5層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種掩模數(shù)據(jù)切割方法，該方法通過遍歷掩模上的每一個多邊形得到多個凹角，對每一個多邊形內(nèi)的凹角進行匹配得到多個弦，從多個弦中篩選獨立弦，使用獨立弦對多邊形進行切割得到子多邊形，其中，獨立弦為不與其他弦相交的弦，則不進行切割，將子多邊形中未匹配的凹角引出兩條射線至子多邊形的邊緣處，通過每條射線之間的交點將射線劃分為多個段，從多個段中選擇候選段進行貪婪選擇算法得到切割段，其中，候選段為與凹角相接的段，通過切割段將掩模切割為多個矩形。引入了對切割后得到的細條矩形的考慮，以及考慮真正對關(guān)鍵尺寸誤差有影響的細條矩形的長度而不是數(shù)量來提升掩模版曝光良率，從而提升了效率。