掃描電子顯微鏡裝置和電子束檢測設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110746459.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113471041A 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN113471041A 申請公布日 2021-10-01
分類號 H01J37/06（2006.01）I;H01J37/147（2006.01）I;H01J37/244（2006.01）I;H01J37/28（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孟慶浪;孫偉強(qiáng) 申請（專利權(quán)）人 中科晶源微電子技術(shù)（北京）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 代理人 王益
地址 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)海四路156號院12號樓5層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 提供掃描電子顯微鏡裝置和電子束檢測設(shè)備，掃描電子顯微鏡裝置被配置成向待測樣品的表面投射電子束，包括：電子束源；偏轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；和物鏡組件。偏轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括：第一偏轉(zhuǎn)器，位于電子束源的下游；和第二偏轉(zhuǎn)器，位于第一偏轉(zhuǎn)器的下游。物鏡組件包括：勵(lì)磁線圈；和磁軛，由導(dǎo)磁材料形成為朝待測樣品敞開的殼體，包括限定內(nèi)部腔室的中空主體、和從中空主體成角度地向內(nèi)朝光軸延伸的至少一個(gè)傾斜部分，所述至少一個(gè)傾斜部分的末端形成為極靴，所述勵(lì)磁線圈容納于所述內(nèi)部腔室中。所述偏轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還包括位于第二偏轉(zhuǎn)器與物鏡組件之間、且布置于由所述極靴限定的開口內(nèi)的第三偏轉(zhuǎn)器，第一、第二和第三偏轉(zhuǎn)器中每個(gè)是靜電偏轉(zhuǎn)器。