缺陷分類器和缺陷分類方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110607390.9 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN113298166A 公開(公告)日 2021-08-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN113298166A 申請(qǐng)公布日 2021-08-24
分類號(hào) G06K9/62;G06K9/46 分類 計(jì)算;推算;計(jì)數(shù);
發(fā)明人 劉成成;王振;韓春營(yíng);俞宗強(qiáng);喬靜;張旭陽(yáng) 申請(qǐng)(專利權(quán))人 中科晶源微電子技術(shù)(北京)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市鼎立東審知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳佳妹;朱慧娟
地址 102600 北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)海四路156號(hào)院12號(hào)樓5層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開了一種缺陷分類器,該缺陷分類器包括第一層分類器和第二層分類器,第一層分類器,被配置為將缺陷圖像進(jìn)行第一次分類得到淺分類層缺陷類別,第二層分類器,被配置為將淺分類層缺陷類別進(jìn)行第二次分類得到深分類層缺陷類別。第一層分類器為model?based分類器,第二層分類器為rule?based分類器和model?based分類器中的至少一種。在復(fù)雜分類場(chǎng)景中,利用本申請(qǐng)的多層缺陷分類器實(shí)現(xiàn)各種類型缺陷的準(zhǔn)確分類,利于缺陷原因的準(zhǔn)確分析排查,從而改善良率,提高生產(chǎn)。