一種晶圓檢測裝置用信號模糊控制濾波器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010945635.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112038252A 公開（公告）日 2020-12-04
申請公布號 CN112038252A 申請公布日 2020-12-04
分類號 H01L21/66 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李玲婭;戴金方;耿曉楊 申請（專利權(quán)）人 無錫卓?？萍脊煞萦邢薰?/a>
代理機構(gòu) 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 無錫卓?？萍加邢薰?/td>
地址 214000 江蘇省無錫市天山路6-2407
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓檢測裝置用信號模糊控制濾波器，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，該信號模糊控制濾波器串接在晶圓檢測裝置的檢測傳感器和處理器之間獲取原始傳感器信號，同時旁路連接同步齒條采樣時間同步信號，基于原始傳感器信號和時間同步信號可以產(chǎn)生處理后信號，處理后信號從原始傳感器信號的第一次有效信號沿開始輸出單個標(biāo)準(zhǔn)寬度的第一次有效電平，然后輸出與原始傳感器信號同步的電平直至原始傳感器信號的第二次有效信號沿時再次輸出單個標(biāo)準(zhǔn)寬度的第二次有效電平，處理后信號相對于原始傳感器信號進行了理想化有特征的歸一濾波，可以有效濾除掉原始傳感器信號中的雜波以及各種異常噪聲，從而可以有效提高晶圓檢測裝置的檢出性能。