一種基于光譜分辨干涉測(cè)量球棒的熱變形裝置及方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910540473.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN110174073A | 公開（公告）日 | 2019-08-27 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110174073A | 申請(qǐng)公布日 | 2019-08-27 |
| 分類號(hào) | G01B11/16 | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 于連棟;程杰;趙會(huì)寧;夏豪杰;李維詩(shī) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 佛山市天目工業(yè)測(cè)量科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京市科名專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 陳朝陽(yáng) |
| 地址 | 528000 廣東省佛山市三水工業(yè)園樂平西樂大道東39號(hào)登駿數(shù)碼城二期廠房35號(hào)五層501#單元 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明屬于光學(xué)精密測(cè)量領(lǐng)域，公開一種基于光譜分辨干涉測(cè)量球棒的熱變形裝置，包括待測(cè)標(biāo)準(zhǔn)球棒、恒溫加熱系統(tǒng)、多目標(biāo)干涉裝置和光譜儀，所述待測(cè)標(biāo)準(zhǔn)球棒兩端各設(shè)置有一標(biāo)準(zhǔn)球分別作為多目標(biāo)干涉裝置的測(cè)量對(duì)象，所述恒溫加熱系統(tǒng)設(shè)置特定的溫度，通過溫度傳感器反饋控制恒定溫度；所述多目標(biāo)干涉裝置固定安裝在粗波分復(fù)用器通道出口，利用粗波分復(fù)用器將光源分割為測(cè)量通道的數(shù)量，并且每個(gè)通道的輸出具有其自己的濾波光譜；所述光譜儀作為信號(hào)接收器件，飛秒激光光源經(jīng)過光環(huán)形器到達(dá)粗波分復(fù)用器，分割光路分別進(jìn)行測(cè)量，干涉返回的光在粗波分復(fù)用器復(fù)合再經(jīng)光環(huán)形器到達(dá)光譜儀接收。獲得球棒根據(jù)溫度變化的熱變形量，對(duì)其精度進(jìn)行標(biāo)定。 |
