一種桌面便攜式無(wú)掩膜曝光機(jī)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202220190994.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216871006U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216871006U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F7/20（2006.01）I | 分類(lèi) | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 周銳;陳哲堃;王振忠;朱宇超;嚴(yán)星;洪明輝 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 廈門(mén)大學(xué) |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廈門(mén)市首創(chuàng)君合專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 361000福建省廈門(mén)市思明南路422號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種桌面便攜式無(wú)掩膜曝光機(jī)，其特征在于：包括殼體和安裝在所述殼體內(nèi)的激光系統(tǒng)、微透鏡陣列模塊、移動(dòng)平臺(tái)及電源，所述的微透鏡陣列模塊設(shè)在激光系統(tǒng)與移動(dòng)平臺(tái)之間，所述的移動(dòng)平臺(tái)承載加工基片，激光系統(tǒng)發(fā)出的激光束照射到微透鏡陣列模塊上被分束和聚焦后投射到移動(dòng)平臺(tái)上的加工基片進(jìn)行曝光。它具有如下優(yōu)點(diǎn)：實(shí)現(xiàn)無(wú)掩膜光刻，加工效率高，尤其適用周期性圖案的曝光加工，小型化、便于移動(dòng)和攜帶。 |
