基于光學(xué)反射定律對真空玻璃真空度的在線檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710545281.2 申請日 -
公開（公告）號 CN107328519B 公開（公告）日 2019-09-27
申請公布號 CN107328519B 申請公布日 2019-09-27
分類號 G01L21/00;G01L11/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉偉偉;李帥;林列;陳平 申請（專利權(quán)）人 威海光子信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津耀達(dá)律師事務(wù)所 代理人 南開大學(xué)
地址 300071 天津市南開區(qū)衛(wèi)津路94號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種基于光學(xué)反射定律對真空玻璃真空度的在線檢測方法，其目的是實(shí)時(shí)在線檢測真空玻璃在抽氣封口時(shí)其內(nèi)部的真空度的變化，并以此作為品控手段來滿足生產(chǎn)要求提高成品率。其技術(shù)方案為：通過利用真空玻璃的上下兩塊平板玻璃的四個(gè)表面對檢測光束的反射，搭建起一條多次反射的光路，在真空玻璃的生產(chǎn)過程的排氣封口步驟中，由于真空玻璃內(nèi)部狹縫與外部大氣壓強(qiáng)作用而產(chǎn)生的壓強(qiáng)差的作用下，則上下層平板玻璃表面會發(fā)生一定量的內(nèi)凹形變，由此將會導(dǎo)致反射光路的光斑的移動，我們由反射光路光斑的移動即可斷定真空玻璃內(nèi)部壓強(qiáng)的變化，由反射光斑移動的位移來判斷真空玻璃內(nèi)部壓強(qiáng)變化大小。以此達(dá)到品控的目的來提高真空玻璃出廠成品率。