碳化硅晶片清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922207328.1 申請日 -
公開（公告）號 CN211757266U 公開（公告）日 2020-10-27
申請公布號 CN211757266U 申請公布日 2020-10-27
分類號 B08B3/12(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 徐良;曹力力;藍(lán)文安;劉建哲;余雅俊;夏建白;李京波;郭煒;葉繼春 申請（專利權(quán)）人 浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京辰權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司
地址 321000浙江省金華市南二環(huán)西路2688號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種碳化硅晶片清洗裝置，該裝置包括底座、把手、至少一個支撐桿和多個圍欄；所述把手通過所述支撐桿連接在所述底座上；所述多個圍欄分別連接在所述底座上，并且所述多個圍欄與所述支撐桿以及所述底座合圍形成容納空間。該裝置可以高效穩(wěn)定的對裝有晶片的多個卡塞盒進(jìn)行清洗和轉(zhuǎn)運(yùn)，也可以用于臨時存放卡塞盒，非常方便工人操作使用，還能夠防止卡塞盒跌落造成的損失，有效的保證了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。??