一種碳化硅晶片拋光工藝轉(zhuǎn)運(yùn)用裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921914353.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212332677U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-01-12 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212332677U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-01-12 |
| 分類(lèi)號(hào) | B62B3/00(2006.01)I | 分類(lèi) | 無(wú)軌陸用車(chē)輛; |
| 發(fā)明人 | 徐良;曹力力;藍(lán)文安;朱衛(wèi)祥;夏建白;李京波 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京辰權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司 |
| 地址 | 321000浙江省金華市南二環(huán)西路2688號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種碳化硅晶片拋光工藝轉(zhuǎn)運(yùn)用裝置，包括推車(chē)框架、用于盛放陶瓷盤(pán)的多個(gè)陶瓷盤(pán)架、萬(wàn)向滾輪和直行滾輪，萬(wàn)向滾輪和直行滾輪分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接于推車(chē)框架的底部?jī)蓚?cè)，多個(gè)陶瓷盤(pán)架沿推車(chē)框架的高度依次安裝于推車(chē)框架的內(nèi)部，多個(gè)陶瓷盤(pán)架與水平面成成夾角θ傾斜設(shè)置，夾角θ的角度為10?20度。本實(shí)用新型的碳化硅晶片拋光工藝轉(zhuǎn)運(yùn)用裝置，可以高效穩(wěn)定的對(duì)各工序陶瓷盤(pán)進(jìn)行轉(zhuǎn)運(yùn)，也可以用于臨時(shí)存放陶瓷盤(pán)，操作方便，能有效保證生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。?? |
