一種半導體設備L型真空閥門

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120817433.1 申請日 -
公開（公告）號 CN215059989U 公開（公告）日 2021-12-07
申請公布號 CN215059989U 申請公布日 2021-12-07
分類號 F16K51/02（2006.01）I;F16K27/00（2006.01）I;F16K31/122（2006.01）I;F16K35/02（2006.01）I;F15B15/14（2006.01）I;F15B15/20（2006.01）I;F15B15/24（2006.01）I;F15B15/26（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機器或設備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 胡開鵬;張魁榜;齊英;陳林 申請（專利權）人 四川九天真空科技有限公司
代理機構 成都嘉企源知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 胡建超
地址 637200四川省南充市西充縣多扶工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種半導體設備L型真空閥門，包括閥板、運動件和運動導軌件，閥板與閥桿連接，閥桿與運動件連接；安裝板內部設置有兩條獨立完整的氣路，安裝板的下部安裝著第一氣缸和第二氣缸，兩個氣缸的氣路通過安裝板內部的兩條氣路連接貫通，氣缸的內側設置有機械限位氣缸，第一氣缸和第二氣缸的活塞桿連接著底板，底板連接著兩個運動導軌件，運動導軌件側面設置有第一導軌槽，第一導軌槽與機械限位氣缸配合進行限位，運動導軌件另一面設置有兩個弧線槽，弧線槽與運動件上的固定件配合運動。本實用新型整體結構簡單，部件損耗低，維護成本低，密封的穩(wěn)定性和持久性高，操作安全。