一種半導(dǎo)體真空插板閥

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122325756.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN215806419U 公開(kāi)（公告）日 2022-02-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN215806419U 申請(qǐng)公布日 2022-02-11
分類(lèi)號(hào) F16K3/02（2006.01）I;F16K3/30（2006.01）I;F16K3/314（2006.01）I;F16K27/04（2006.01）I;F16K31/122（2006.01）I 分類(lèi) 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 鄒亞偉;張魁榜;齊英;陳林 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 四川九天真空科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京三聚陽(yáng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王鍇
地址 637000四川省南充市西充縣多扶工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體真空插板閥，包括閥體、蓋板、支撐框架、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、閥桿和閥板；閥體的側(cè)壁開(kāi)設(shè)有閥門(mén)開(kāi)口，蓋板密封蓋設(shè)在閥體非通路方向的頂部開(kāi)口上，支撐框架連接在蓋板的上方，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接在支撐框架上；蓋板上開(kāi)設(shè)有通孔，閥桿的一端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出端相連，閥桿的另一端穿過(guò)蓋板上的通孔伸進(jìn)閥體的內(nèi)腔中，閥板用于封閉閥門(mén)開(kāi)口；閥桿和蓋板之間密封連接有套設(shè)在閥桿外周的波紋管。閥桿在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的作用下帶動(dòng)閥板運(yùn)動(dòng)以封閉或開(kāi)啟閥門(mén)開(kāi)口的過(guò)程中，閥桿與周邊部件之間動(dòng)摩擦少，可以有效減少動(dòng)摩擦產(chǎn)生的粒子數(shù)，而波紋管隨閥桿的運(yùn)動(dòng)做伸縮運(yùn)動(dòng)，可以防止外部粒子進(jìn)入閥體的內(nèi)腔中，有利于閥體內(nèi)腔保持較高的真空度。