一種高頻感應(yīng)等離子發(fā)生器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201220161746.7 申請日 -
公開（公告）號 CN202587573U 公開（公告）日 2012-12-05
申請公布號 CN202587573U 申請公布日 2012-12-05
分類號 H05H1/30(2006.01)I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 張海霞;田鵬;車永軍 申請（專利權(quán)）人 新疆哥蘭德新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 烏魯木齊中科新興專利事務(wù)所 代理人 新疆哥蘭德新能源有限公司
地址 843301 新疆維吾爾自治區(qū)阿克蘇地區(qū)阿拉爾市南口振村花園小區(qū)8號樓6號房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種高頻感應(yīng)等離子發(fā)生器，是一種新型結(jié)構(gòu)的用于多晶硅提純的高頻感應(yīng)等離子體發(fā)生器。該發(fā)生器是由內(nèi)外兩層同軸石英管、工作氣體進(jìn)氣口、保護(hù)氣體進(jìn)氣口、切線進(jìn)氣口和進(jìn)氣口組成，采用氬氣來冷卻等離子發(fā)生器提高了安全性的同時還保證了氧化性氣分的穩(wěn)定均勻進(jìn)入發(fā)生器，產(chǎn)生穩(wěn)定均勻的等離子體，即解決了多晶硅提煉過程中易受到污染的問題，又能保證在生產(chǎn)過程中的安全性。該發(fā)生器能夠提供穩(wěn)定、可靠離子束，具有不產(chǎn)生污染物質(zhì)、耐高溫，絕緣性好，不易損壞，氣流平穩(wěn)均勻，保證發(fā)生器不被燒壞和等離子體均勻產(chǎn)生排出，更好發(fā)揮等離子體的作用。