單片式多色光電探測(cè)器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810618766.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN108550600B 公開(kāi)(公告)日 2021-04-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN108550600B 申請(qǐng)公布日 2021-04-27
分類(lèi)號(hào) H01L27/146 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 鄒澤亞 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 杭州國(guó)翌科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 浙江千克知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄭嫻雅
地址 311200 浙江省杭州市蕭山區(qū)杭州蕭山空港經(jīng)濟(jì)區(qū)保稅路西側(cè)保稅大廈856室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種單片式多色光電探測(cè)器,其包括襯底;在襯底上從下至上依次形成的第一吸收層結(jié)構(gòu)、第二吸收層結(jié)構(gòu)、……、第i吸收層結(jié)構(gòu)、……、第N吸收層結(jié)構(gòu),N為大于1的正整數(shù),i為大于1且小于等于N的正整數(shù);每一個(gè)吸收層結(jié)構(gòu)具有一個(gè)下接觸層、一個(gè)吸收層和一個(gè)上接觸層,相鄰兩個(gè)吸收層結(jié)構(gòu)的接觸層共用;沿光入射方向,N個(gè)吸收層的吸收波長(zhǎng)逐漸變長(zhǎng)。本發(fā)明采用多色探測(cè)器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),能夠?qū)崿F(xiàn)短波紅外或可見(jiàn)短波光譜范圍內(nèi)的多色同步探測(cè)或選擇性帶通探測(cè)。