一種雙軸承浮動(dòng)限位塊及半導(dǎo)體晶圓減薄機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120015129.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214063571U 公開（公告）日 2021-08-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN214063571U 申請(qǐng)公布日 2021-08-27
分類號(hào) F16C32/06（2006.01）I;F16C35/00（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 周石堅(jiān);黃郁聲 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 東莞市智控鑫能實(shí)業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 523726廣東省東莞市塘廈鎮(zhèn)高麗社區(qū)高麗三路2號(hào)2棟一樓102
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種雙軸承浮動(dòng)限位塊，并基于該雙軸承浮動(dòng)限位塊提出了一種半導(dǎo)體晶圓減薄機(jī)，所述雙軸承浮動(dòng)限位塊包括氣浮座和軸承，所述氣浮座上連接有安裝臂，安裝臂的兩個(gè)自由端位置處均安裝有軸承，軸承與大盤組件相切，用雙軸承浮動(dòng)限位塊來(lái)替代單軸承限位塊對(duì)大盤組件外圓進(jìn)行三點(diǎn)定位，有定位剛性好、旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定的優(yōu)點(diǎn)，也由于接觸應(yīng)力減小，大大延長(zhǎng)了軸承的使用壽命，比之單軸承單點(diǎn)接觸分散了皮帶的張緊力從而大大提高大盤外圓定位的剛性和穩(wěn)定性。