一種氫氣傳感器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010577466.3 申請日 -
公開（公告）號 CN111638252A 公開（公告）日 2020-09-08
申請公布號 CN111638252A 申請公布日 2020-09-08
分類號 G01N27/12(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 謝波;丁伯勝;王一濤 申請（專利權(quán)）人 浙江固微科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 310000浙江省杭州市富陽區(qū)銀湖街道創(chuàng)意路1號C2號樓7樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種氫氣傳感器及其制備方法，包括氫氣氣敏膜、導(dǎo)電電極和絕緣襯底，所述氫氣氣敏膜附著于絕緣襯底表面，通過導(dǎo)電電極測量氫氣氣敏膜的電阻或?qū)щ娭?，所述氫氣氣敏膜包括至少一層鈀基納米粒子組裝薄膜和至少一層金屬有機物框架涂層，所述金屬有機物框架涂層將鈀基納米粒子組裝薄膜完全包裹。本發(fā)明中金屬有機物框架涂層材料的多孔結(jié)構(gòu)使其能在一定程度上隔離較大尺寸的氣體分子，提高氫氣氣敏的選擇性。此外，由于金屬有機物框架材料對鈀或合金粒子之間的表面修飾作用，還能提高納米粒子氣敏膜對氫氣的響應(yīng)值。??