一種單晶硅片加工用表面清理設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020201862.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211914714U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-11-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211914714U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-13 |
| 分類號(hào) | B08B1/04(2006.01)I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 莊智慧 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海合晶硅材料股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海灣谷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 上海合晶硅材料股份有限公司 |
| 地址 | 201617上海市松江區(qū)石湖蕩鎮(zhèn)長(zhǎng)塔路558號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種單晶硅片加工用表面清理設(shè)備，包括支撐機(jī)構(gòu)，支撐機(jī)構(gòu)上端固定連接有清理機(jī)構(gòu)，清理機(jī)構(gòu)下方設(shè)有放置機(jī)構(gòu)，將單晶硅片放置于放置機(jī)構(gòu)中的放置槽內(nèi)，再啟動(dòng)支撐機(jī)構(gòu)中的氣缸，氣缸伸縮帶動(dòng)放置盒進(jìn)行上升，再通過(guò)啟動(dòng)清理機(jī)構(gòu)中的電機(jī)，電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)固定塊與清理?xiàng)l進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，再通過(guò)放置槽內(nèi)的單晶硅片上表面與清理?xiàng)l接觸進(jìn)行清理，清理完成再通過(guò)推動(dòng)推桿，使固定桿推出放置槽外，同時(shí)帶動(dòng)單晶硅片露出放置槽外，再通過(guò)托住單晶硅片沒(méi)清理一面拿取，有效的實(shí)現(xiàn)了現(xiàn)有的單晶硅片加工清理，無(wú)需人工進(jìn)行清理，清理效率提高，同時(shí)拿取的時(shí)候不會(huì)碰到剛清理的表面，清理面積均勻。?? |
