一種用于弧周缺陷檢測的顯微光學(xué)系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110704926.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113340911A 公開（公告）日 2021-09-03
申請公布號 CN113340911A 申請公布日 2021-09-03
分類號 G01N21/89（2006.01）I;G01N21/892（2006.01）I;G02B21/36（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王馨瑩;李偉;劉欣;孟鵬飛;王福旺;李立鋒;宋思儒;林濤;陶平;田永軍 申請（專利權(quán)）人 北京兆維電子（集團(tuán)）有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京輕創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 朱曉彤
地址 100015北京市朝陽區(qū)酒仙橋路14號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于弧周缺陷檢測的顯微光學(xué)系統(tǒng)，包括驅(qū)動單元、成像旋轉(zhuǎn)單元和無限遠(yuǎn)成像單元，驅(qū)動單元固定設(shè)置，用于帶動待檢測的產(chǎn)品繞豎直設(shè)置的軸水平轉(zhuǎn)動，成像旋轉(zhuǎn)單元和無限遠(yuǎn)成像單元架設(shè)在驅(qū)動單元的上方；無限遠(yuǎn)成像單元對產(chǎn)品進(jìn)行成像，成像旋轉(zhuǎn)單元用于在產(chǎn)品成像時(shí)旋轉(zhuǎn)圖像。本發(fā)明的有益效果是實(shí)現(xiàn)孔區(qū)弧周缺陷檢測，同時(shí)克服矩形視野采集弧形目標(biāo)時(shí)檢測區(qū)域位置大小、重復(fù)區(qū)域不固定的缺點(diǎn)，光學(xué)檢測的效率大大提高，且檢測更為全面，檢測的效果較佳。