一種基于CELL的邊緣缺陷檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110737272.X 申請日 -
公開(公告)號 CN113409295A 公開(公告)日 2021-09-17
申請公布號 CN113409295A 申請公布日 2021-09-17
分類號 G06T7/00(2017.01)I;G06T7/11(2017.01)I;G06T7/13(2017.01)I;G06T5/00(2006.01)I;G06T3/60(2006.01)I;G06N3/04(2006.01)I;G06N3/08(2006.01)I 分類 計算;推算;計數;
發(fā)明人 陳晨;陶平;張蓮蓮;靳松;田永軍;李偉;陳永超 申請(專利權)人 北京兆維電子(集團)有限責任公司
代理機構 北京輕創(chuàng)知識產權代理有限公司 代理人 趙秀斌
地址 100015北京市朝陽區(qū)酒仙橋路14號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種基于CELL的邊緣缺陷檢測方法,包括:收集歷史檢測CELL產品累積的數據樣本,得到數據標注樣本;將數據標注樣本輸入深度卷積神經網絡中進行模型訓練,訓練出一個穩(wěn)定收斂的分割模型;捕捉待測CELL產品的產品圖像,通過分割模型分割出產品圖像中的缺陷坐標位置和mark坐標位置,將缺陷坐標位置輸出;調取待測CELL產品的產品圖像,將有限個邊緣點進行直線擬合,分別得到水平擬合線和垂直擬合線;根據mark坐標位置,分別對擬合出來的水平擬合線和垂直擬合線進行間距測量,得到間距參數輸出。本發(fā)明建立了分割模型,能夠對輸入的產品圖像中的缺陷進行分割,能夠同步對CELL產品的缺陷以及邊距進行測量,提升檢測效率,缺陷和邊距檢測精度高。