一種判斷通孔開路缺陷的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111414177.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114119544A 公開（公告）日 2022-03-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN114119544A 申請(qǐng)公布日 2022-03-01
分類號(hào) G06T7/00（2017.01）I;G06T7/62（2017.01）I 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 蘇曉菁;韋亞一;粟雅娟;張利斌;劉暢;張世鑫 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京誠(chéng)芯集成電路技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 賴忠輝
地址 211899江蘇省南京市浦口區(qū)江浦街道浦濱路320號(hào)科創(chuàng)一號(hào)大廈B座21樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及集成電路技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種判斷通孔開路缺陷的方法；包括：定義金屬輪廓臺(tái)階長(zhǎng)度，并微分化金屬輪廓得到金屬輪廓面積；對(duì)通孔輪廓面積進(jìn)行計(jì)算，并將通孔輪廓替換成和通孔輪廓面積相等的正方形；計(jì)算所述正方形與所述金屬輪廓的重疊面積；基于重疊面積推算沿金屬輪廓方向和垂直金屬輪廓方向潛在的開路缺陷概率，從而判斷通孔開路是否缺陷，套刻誤差會(huì)導(dǎo)致通孔無法準(zhǔn)確的落在預(yù)定設(shè)計(jì)位置，最終會(huì)落在一定范圍內(nèi)，通過推算開路的缺陷概率，判斷在范圍內(nèi)是否會(huì)發(fā)生開路，解決現(xiàn)有技術(shù)只能確定預(yù)定位置是否開路，無法確定工藝波動(dòng)下的開路風(fēng)險(xiǎn)。