對準系統(tǒng)的監(jiān)控和數(shù)據(jù)的篩選方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110134784.7 申請日 -
公開（公告）號 CN112885731A 公開（公告）日 2021-06-01
申請公布號 CN112885731A 申請公布日 2021-06-01
分類號 H01L21/66;H01L21/68;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 馬恩澤;韋亞一;張利斌 申請（專利權(quán)）人 南京誠芯集成電路技術(shù)研究院有限公司
代理機構(gòu) 南京蘇博知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳婧
地址 211899 江蘇省南京市浦口區(qū)江浦街道浦濱路320號科創(chuàng)一號大廈B座21樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種對準系統(tǒng)的監(jiān)控和數(shù)據(jù)的篩選方法，通過對單片晶圓進行標記，并進行量測，得到第一量測數(shù)據(jù)；依據(jù)得到的第一量測數(shù)據(jù)進行平均值和標準差值的計算；利用第一量測數(shù)據(jù)利用得到的平均值和標準差值進行范圍界定，并將超出平均值+多倍標準差值的數(shù)據(jù)進行篩除，利用剩余的數(shù)據(jù)進行網(wǎng)格擬合；依照上述單片晶圓的量測步驟及量測結(jié)果，量測每個Lot層面中的每片晶圓上的標記，得到第二量測數(shù)據(jù)；根據(jù)獲得的每個Lot層面中的每片晶圓上的第二量測數(shù)據(jù)，對每一片晶圓的對準量測結(jié)果進行對應(yīng)的操作分析處理，完成對準的擬合以及對套刻誤差量測片數(shù)序號的預(yù)判。以此提升晶圓的對準效果，以及減小套刻誤差量測對最終后續(xù)的對準結(jié)果的影響。