一種用于大尺寸單晶硅棒的導(dǎo)流筒

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121024183.2 申請日 -
公開（公告）號 CN215560795U 公開（公告）日 2022-01-18
申請公布號 CN215560795U 申請公布日 2022-01-18
分類號 C30B15/16（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 楊昊;黃懷玉;唐碧見;劉雅旭 申請（專利權(quán)）人 弘元新材料（包頭）有限公司
代理機構(gòu) 北京睿博行遠(yuǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張燕平
地址 014030內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市青山區(qū)裝備制造產(chǎn)業(yè)園區(qū)管委會A座516室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于大尺寸單晶硅棒的導(dǎo)流筒，包括：單晶爐，作用于大尺寸單晶硅棒的拉制加工，所述單晶爐的內(nèi)部貫穿有中部導(dǎo)流筒，并所述中部導(dǎo)流筒的上部與所述單晶爐凹凸卡合；外部導(dǎo)流筒，安裝在所述中部導(dǎo)流筒的外側(cè)，并下方呈傾斜狀分布的所述中部導(dǎo)流筒和下方呈傾斜狀分布的所述外部導(dǎo)流筒之間填充有保溫氈；下部支撐環(huán)，安裝在所述外部導(dǎo)流筒的下端，并呈傾斜狀分布的下部支撐環(huán)的端部與所述中部導(dǎo)流筒的下端相互連接。該用于大尺寸單晶硅棒的導(dǎo)流筒，導(dǎo)流筒保溫石墨軟氈使用導(dǎo)熱系數(shù)更低的氣凝膠保溫氈替換，從而提高導(dǎo)流筒的整體保溫性能，優(yōu)化生長界面徑向溫度均勻性的同時增大熱場縱向溫度。