一種海水溫度和壓力集成的片式傳感器芯片的制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710886471.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN107764425B 公開(kāi)（公告）日 2019-07-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN107764425B 申請(qǐng)公布日 2019-07-26
分類號(hào) G01K7/22（2006.01）I; G01L9/12（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張洪泉; 劉秀杰; 姜宗澤; 張凱; 沈冰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京航士科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 哈爾濱市偉晨專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 哈爾濱工程大學(xué); 上海航士海洋科技有限公司; 哈爾濱航士科技發(fā)展有限公司; 北京航士科技發(fā)展有限公司
地址 150001 黑龍江省哈爾濱市南通大街145號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種海水溫度和壓力集成的片式傳感器芯片的制造方法，包括以下步驟：a、化學(xué)清洗；b、激光打孔；c、絲網(wǎng)印刷圖形；d、烘干；e、印刷玻璃燒結(jié)料；f、一次燒結(jié)；g、二次燒結(jié)；h、激光調(diào)阻；i、三次燒結(jié)；j、將鉑內(nèi)引線點(diǎn)焊到電子檢測(cè)裝置的金屬引線柱上，制造出能夠檢測(cè)海水溫度和壓力的傳感器；本發(fā)明傳感器芯片結(jié)構(gòu)緊湊，小型便攜，靈敏精確，將溫度和壓力傳感器集成在一起，能同時(shí)測(cè)量?jī)蓚€(gè)參數(shù)并降低生產(chǎn)成本，在海水中下潛速度快，測(cè)量效率高。