一種海水溫度和壓力集成的片式傳感器芯片的制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710886471.0 申請日 -
公開（公告）號 CN107764425A 公開（公告）日 2018-03-06
申請公布號 CN107764425A 申請公布日 2018-03-06
分類號 G01K7/22;G01L9/12 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張洪泉;劉秀杰;姜宗澤;張凱;沈冰 申請（專利權(quán)）人 北京航士科技發(fā)展有限公司
代理機構(gòu) 哈爾濱市偉晨專利代理事務所（普通合伙） 代理人 上海航士海洋科技有限公司;哈爾濱工程大學;哈爾濱航士科技發(fā)展有限公司;北京航士科技發(fā)展有限公司
地址 201306 上海市浦東新區(qū)南匯新城?；?18弄5號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種海水溫度和壓力集成的片式傳感器芯片的制造方法，包括以下步驟：a、化學清洗；b、激光打孔；c、絲網(wǎng)印刷圖形；d、烘干；e、印刷玻璃燒結(jié)料；f、一次燒結(jié)；g、二次燒結(jié)；h、激光調(diào)阻；i、三次燒結(jié)；j、將鉑內(nèi)引線點焊到電子檢測裝置的金屬引線柱上，制造出能夠檢測海水溫度和壓力的傳感器；本發(fā)明傳感器芯片結(jié)構(gòu)緊湊，小型便攜，靈敏精確，將溫度和壓力傳感器集成在一起，能同時測量兩個參數(shù)并降低生產(chǎn)成本，在海水中下潛速度快，測量效率高。