一種高靈敏凹陷槽NOx傳感器結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910789300.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110398521A | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-11-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110398521A | 申請(qǐng)公布日 | 2019-11-01 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01N27/12（2006.01）I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 郭德明; 王磊; 梁保權(quán); 羅玉軍; 聶元建; 龐邦舜; 李春; 陳絲雨; 張文文; 胡明雪 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 廣西玉柴機(jī)器集團(tuán)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州海心聯(lián)合專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 廣西玉柴機(jī)器集團(tuán)有限公司; 廣西優(yōu)艾斯提傳感技術(shù)有限公司 |
| 地址 | 537000 廣西壯族自治區(qū)玉林市玉柴新城玉柴大道西側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種高靈敏凹陷槽NOx傳感器結(jié)構(gòu)，屬于氮氧傳感器技術(shù)領(lǐng)域，主要解決的是現(xiàn)有氮氧傳感器靈敏度低、應(yīng)用范圍有限的技術(shù)問(wèn)題，所述傳感器結(jié)構(gòu)包括襯底，所述襯底設(shè)有至少一個(gè)凹陷槽，各所述凹陷槽上方設(shè)有橫跨其兩側(cè)的氮氧敏感單元，所述氮氧敏感單元的兩端連接所述襯底頂部。本發(fā)明可以使氮氧敏感單元與氮氧氣體360°全向接觸，極大提高了傳感器的靈敏度，同時(shí)由于氮氧敏感單元與凹陷槽不接觸，襯底與氮氧敏感單元的接觸面積小，發(fā)熱面積小，可以達(dá)到降低熱功耗的目的。 |
