一種適用于高純氯硅烷的充裝系統(tǒng)及其充卸料方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711310529.3 申請日 -
公開（公告）號 CN107893907B 公開（公告）日 2019-11-08
申請公布號 CN107893907B 申請公布日 2019-11-08
分類號 F17C5/06（2006.01）I; F17C13/00（2006.01）I; F17C13/02（2006.01）I 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 王姍 申請（專利權(quán)）人 成都蜀菱科技發(fā)展有限公司
代理機構(gòu) 成都超凡明遠(yuǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 何龍
地址 611400 四川省成都市新津縣新津區(qū)普興街道清云南路445號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種適用于高純氯硅烷的充裝系統(tǒng)及其充卸料方法，其主要涉及物料充裝領(lǐng)域。該充裝系統(tǒng)通過對常規(guī)氮氣管線系統(tǒng)與尾氣管線系統(tǒng)進(jìn)行并聯(lián)連通，對第一高純氮氣管線系統(tǒng)與尾氣管線系統(tǒng)進(jìn)行并聯(lián)連通，對第二高純氮氣管線系統(tǒng)與卸車管線系統(tǒng)進(jìn)行并聯(lián)連通，對裝車管線系統(tǒng)與尾氣管線系統(tǒng)和卸車管線系統(tǒng)均進(jìn)行并聯(lián)連通，實現(xiàn)了對高純氯硅烷的充卸料和吹掃置換，解決了高純物料充裝、卸車過程面臨的物料污染、環(huán)境污染、設(shè)備腐蝕等問題，取得了保護(hù)充裝系統(tǒng)設(shè)備、防止物料污染和環(huán)境污染的技術(shù)效果；通過設(shè)置PLC控制系統(tǒng)，提高了充裝系統(tǒng)的充卸料效率，故上述的充裝系統(tǒng)及其充卸料方法表現(xiàn)出了較高的實用價值，具備重要的推廣應(yīng)用價值。