一種氣液分離式排廢氣裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202123003390.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216630228U 公開（公告）日 2022-05-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN216630228U 申請(qǐng)公布日 2022-05-31
分類號(hào) B01D53/00（2006.01）I;B01D5/00（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 郭緒斌;史雅君 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽(yáng)科苑專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 -
地址 110168遼寧省沈陽(yáng)市渾南區(qū)飛云路16號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于涂膠顯影機(jī)配件領(lǐng)域，具體地說(shuō)是一種氣液分離式排廢氣裝置，包括排風(fēng)管道、自動(dòng)排氣閥、排風(fēng)盒及氣液分離板，氣液分離板部分插設(shè)于排風(fēng)盒中，排風(fēng)盒的一端與排風(fēng)管道連通、另一端與自動(dòng)排氣閥的輸入端密封連通，排風(fēng)盒與自動(dòng)排氣閥之間通過(guò)連接邊沿、卡接邊沿、密封墊B及緊固螺釘?shù)呐浜显O(shè)置進(jìn)行組裝。本實(shí)用新型通過(guò)排風(fēng)盒及氣液分離板的配合設(shè)置，可使較多的溶劑或光刻膠殘留物留在排風(fēng)盒內(nèi)，且氣液分離板拆裝方便；通過(guò)連接邊沿、卡接邊沿、密封墊B及緊固螺釘?shù)呐浜显O(shè)置，方便排風(fēng)盒與自動(dòng)排氣閥之間的拆裝，且密封效果好。本實(shí)用新型可避免較多的溶劑或光刻膠殘留物進(jìn)入并存留在自動(dòng)排氣閥中，整體拆裝清理更方便。