一種片盒保管搬運設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011214239.0 申請日 -
公開（公告）號 CN114435935A 公開（公告）日 2022-05-06
申請公布號 CN114435935A 申請公布日 2022-05-06
分類號 B65G47/90（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運薄的或細絲狀材料;
發(fā)明人 劉曉姣;洪旭東 申請（專利權）人 沈陽芯源微電子設備股份有限公司
代理機構 沈陽科苑專利商標代理有限公司 代理人 何麗英
地址 110168遼寧省沈陽市渾南區(qū)飛云路16號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于電子半導體生產(chǎn)技術領域，特別涉及一種片盒保管搬運設備。包括片盒保管搬運機器人；片盒保管搬運機器人包括依次連接的X軸驅動機構、Z軸驅動機構及R軸驅動機構，其中R軸驅動機構包括旋轉驅動機構、大臂、小臂及端拾器，旋轉驅動機構通過Z軸滑板與Z軸驅動機構連接；大臂的后端與旋轉驅動機構連接，大臂的前端與小臂的后端轉動連接，小臂的前端與端拾器轉動連接；旋轉驅動機構驅動大臂轉動，大臂帶動小臂反向轉動，從而帶動端拾器沿R軸方向平移。本發(fā)明的R軸驅動機構能夠使端拾器在水平方向上前后移動，使得機器人具有X軸、Z軸和R軸三個方向的自由度，更加靈活，增大了抓取范圍。