基板處理系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011589962.7 申請日 -
公開（公告）號 CN114695211A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114695211A 申請公布日 2022-07-01
分類號 H01L21/677（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 彭博;陳興隆 申請（專利權(quán)）人 沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司
代理機構(gòu) 上海恒銳佳知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 110168遼寧省沈陽市渾南區(qū)飛云路16號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種基板處理系統(tǒng)，包括裝載單元、過渡單元、工藝單元、至少一個第一傳送單元、至少一個第一位置檢測單元、至少一個第二傳送單元以及至少一個第二位置檢測單元。所述基板處理系統(tǒng)中，包括第一位置檢測單元和第二位置檢測單元，從而保證了同一所述第一傳送單元中的機械臂部分或全部同步運動，也保證了同一所述第二傳送單元中的機械臂部分或全部同步運動，從而能夠保證同時在所述裝載單元和過渡單元之間，以及所述過渡單元和所述工藝單元之間同時搬運多個基板，提高了基板的處理效率。