一種可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)液位的化學(xué)品供液罐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202123003386.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN216425543U 公開(kāi)（公告）日 2022-05-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN216425543U 申請(qǐng)公布日 2022-05-03
分類(lèi)號(hào) B65D90/48（2006.01）I 分類(lèi) 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 劉健;郭生華;龔明 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽(yáng)科苑專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 代理人 白振宇
地址 110168遼寧省沈陽(yáng)市渾南區(qū)飛云路16號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于化學(xué)品供液罐領(lǐng)域，具體地說(shuō)是一種可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)液位的化學(xué)品供液罐，包括罐體、封蓋、可伸縮儲(chǔ)液筒、執(zhí)行器位置傳感器及被感應(yīng)零件，可伸縮儲(chǔ)液筒設(shè)置于罐體的內(nèi)腔中、且上端開(kāi)口而下端密封，被感應(yīng)零件設(shè)置于可伸縮儲(chǔ)液筒的下端，執(zhí)行器位置傳感器安裝于罐體的外部、并檢測(cè)被感應(yīng)零件的高度位置。被感應(yīng)零件在可伸縮儲(chǔ)液筒的下端隨可伸縮儲(chǔ)液筒上下移動(dòng)，通過(guò)執(zhí)行器位置傳感器測(cè)出被感應(yīng)零件的高度位置，進(jìn)而得出可伸縮儲(chǔ)液筒內(nèi)腔中液體的高度大小。該過(guò)程中執(zhí)行器位置傳感器輸出模擬量信號(hào)，轉(zhuǎn)換成的液位高度曲線可為線性、連續(xù)，可對(duì)罐體中液體的液位進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，以便隨時(shí)補(bǔ)充液體，從而完成對(duì)晶圓的不間斷加工。