一種制作半導(dǎo)體激光器熱沉的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410119425.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103887703B 公開(kāi)（公告）日 2017-01-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN103887703B 申請(qǐng)公布日 2017-01-04
分類號(hào) H01S5/024(2006.01)I;H01S5/02(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李剛;張松;崔碧峰;徐旭紅;趙瑞;計(jì)偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京牡丹電子集團(tuán)有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京牡丹電子集團(tuán)有限責(zé)任公司
地址 100191 北京市海淀區(qū)花園路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種帶石墨烯層的半導(dǎo)體激光器熱沉，包括從下至上依次沉積的基體材料層、無(wú)氧銅層和石墨烯層，所述基體材料層采用的材料是氮化鋁陶瓷、氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷、氮化硅陶瓷、碳化硅或氮化硼中的任意一種。本發(fā)明還對(duì)應(yīng)給出了制作所述熱沉的方法。本發(fā)明采用石墨烯層作為熱沉的散熱材料，充分利用石墨烯熱導(dǎo)率高的物理特性，將半導(dǎo)體激光器工作時(shí)產(chǎn)生的熱量傳導(dǎo)出來(lái)并發(fā)散掉，能夠在不增加半導(dǎo)體激光器重量、體積的情況下，大幅提高半導(dǎo)體激光器的散熱能力，降低半導(dǎo)體激光器工作時(shí)的溫度，保證半導(dǎo)體激光器的光電性能和可靠性，延長(zhǎng)半導(dǎo)體激光器的壽命。