一種直拉單晶硅用加熱器及單晶生長(zhǎng)爐
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921802643.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211546715U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-09-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211546715U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-09-22 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B15/14(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 關(guān)樹(shù)軍;羅才軍;趙智強(qiáng);張偉新;陳輝 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 北京京運(yùn)通科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 北京京運(yùn)通科技股份有限公司 |
| 地址 | 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)經(jīng)海四路158號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及直拉單晶硅技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種直拉單晶硅用加熱器及單晶生長(zhǎng)爐，該直拉單晶硅用加熱器包括圓筒狀的主發(fā)熱體，主發(fā)熱體的筒體上設(shè)置有沿周向交替分布的第一縫隙和第二縫隙，第一縫隙與第二縫隙均沿主發(fā)熱體的軸心線(xiàn)方向延伸，且第一縫隙的開(kāi)口朝向與第二縫隙的開(kāi)口朝向相反，第一縫隙和第二縫隙將主發(fā)熱體分成多根依次串聯(lián)的發(fā)熱條，第一縫隙和第二縫隙的中間區(qū)域的寬度小于兩端的寬度，以使每根發(fā)熱條中間區(qū)域的寬度大于其兩端的寬度。該直拉單晶硅用加熱器能降低縱向的溫度梯度，進(jìn)而降低直拉單晶硅中的氧含量，達(dá)到減弱直拉單晶硅氧施主效應(yīng)的目的。?? |
