一種鍋幫及直拉單晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921821726.6 申請日 -
公開（公告）號 CN211546719U 公開（公告）日 2020-09-22
申請公布號 CN211546719U 申請公布日 2020-09-22
分類號 C30B29/06(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 趙智強;張偉新;陳輝;關(guān)樹軍;羅才軍 申請（專利權(quán)）人 北京京運通科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京同達信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京京運通科技股份有限公司
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)海四路158號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開一種鍋幫及直拉單晶爐，其中的鍋幫包括：鍋幫本體，鍋幫本體包括底盤和圍壁，其中，圍壁沿底盤的頂部開口邊緣延伸設(shè)置，底盤和圍壁圍成用于容納坩堝的內(nèi)腔，底盤和圍壁連接處形成拐角結(jié)構(gòu)；鍋幫還包括內(nèi)保護層，內(nèi)保護層至少覆蓋拐角結(jié)構(gòu)內(nèi)側(cè)壁，內(nèi)保護層用于通過與拐角結(jié)構(gòu)相對的部分托住坩堝。通過在鍋幫本體內(nèi)部設(shè)置內(nèi)保護層，內(nèi)保護層將鍋幫本體受坩堝擠壓力最大腐蝕最嚴(yán)重的拐角結(jié)構(gòu)處覆蓋，可以最大程度減緩鍋幫本體的腐蝕，只需要更換內(nèi)保護層，而不必更換鍋幫整體，降低成本，降低工作量。??