一種帶有探針保護(hù)裝置的針測機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720314169.3 申請日 -
公開（公告）號 CN206758407U 公開（公告）日 2017-12-15
申請公布號 CN206758407U 申請公布日 2017-12-15
分類號 H01L21/66(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王印璽;江姜;陶源 申請（專利權(quán)）人 安徽超元半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海華誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 董澤宇
地址 247100 安徽省池州市貴池區(qū)池州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)園17號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種帶有探針保護(hù)裝置的針測機(jī)，包括測試機(jī)、連接電路板、彈簧針?biāo)竭B接器、機(jī)械臂、探針卡、光學(xué)影像系統(tǒng)、待測晶圓、承載托盤和針測機(jī)；所述探針卡包括探針卡底板和探針,其特征在于通過紅外感應(yīng)器監(jiān)控針測機(jī)光學(xué)影像系統(tǒng)到探針卡底板距離，當(dāng)針測機(jī)光學(xué)影像系統(tǒng)距離探針卡底板高度小于等于在針測機(jī)上設(shè)定的安全高度時觸發(fā)報警并停止，紅外感應(yīng)監(jiān)控報警裝置信號連接于針測機(jī)現(xiàn)有的前門打開后報警裝置實現(xiàn)報警功能，從而保護(hù)了探針，節(jié)約了半導(dǎo)體芯片的制造成本。