一種晶圓打墨印裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510734544.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106560911A 公開(kāi)（公告）日 2017-04-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN106560911A 申請(qǐng)公布日 2017-04-12
分類號(hào) H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 沈順金 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽超元半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海集信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 任永武
地址 226100 江蘇省南通市海門市三廠街道工人新村310幢108室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓打墨印裝置，涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括水平底座和垂直底座，所述水平底座通過(guò)固定螺母與垂直底座相連，所述垂直底座上安裝有固定支架，所述固定支架上安裝有墨印器鎖定夾，所述墨印器鎖定夾上安裝有墨印器。本發(fā)明晶圓打墨印裝置，通過(guò)在水平底座開(kāi)設(shè)伸縮孔，伸縮孔上安裝有伸縮調(diào)節(jié)螺母來(lái)調(diào)節(jié)水平位置；垂直底座與固定支架之間通過(guò)安裝高度調(diào)節(jié)螺母來(lái)調(diào)節(jié)高度；墨印劑垂直固定在支桿上，通過(guò)漁線接觸晶粒完成打墨印動(dòng)作，增大了晶圓與打墨印裝置的距離，大大降低了刮傷晶圓的風(fēng)險(xiǎn)，有效避免了晶圓刮傷；具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便的特點(diǎn)，可以安裝在針測(cè)機(jī)空間比較開(kāi)闊的位置，方便人員操作。