一種一體式晶圓出貨影像留存設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610225525.4 申請日 -
公開（公告）號 CN105679697B 公開（公告）日 2018-09-07
申請公布號 CN105679697B 申請公布日 2018-09-07
分類號 H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 沈順金;王印璽;鄭李 申請（專利權）人 安徽超元半導體有限公司
代理機構 合肥市浩智運專利代理事務所（普通合伙） 代理人 王林
地址 234000 安徽省宿州市拱辰路8號科技大廈高新區(qū)管委會
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種一體式晶圓出貨影像留存設備,包括靜電操作臺、金屬擋板、攝像設備、靜電紙和放置區(qū)域；所述金屬擋板有三塊，分別沿靜電操作臺的工作面的三條邊垂直向上設置，所述攝像設備分別設置在各個金屬擋板的頂部，所述放置區(qū)域凸起設置在靜電操作臺的工作面上，所述靜電紙設置于所述放置區(qū)域內。本發(fā)明的晶圓出貨包裝完畢,將其放入本設備中，刷入此批次晶圓后既可實現(xiàn)自動三維拍照，三維照片上將儲存該批次信息以便追溯，結構簡單，使用方便。