一種試料基座

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121626683.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215481235U 公開（公告）日 2022-01-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN215481235U 申請(qǐng)公布日 2022-01-11
分類號(hào) C23C14/35（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 牟培福;高軍思;牟成陽 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧波天德創(chuàng)新智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京隆源天恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張曉會(huì)
地址 315800浙江省寧波市北侖區(qū)大碶甬江南路58號(hào)1幢01室一層-1、二層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種試料基座，涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，所述試料基座包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸、升降電機(jī)、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、抓料架及加熱燈，升降軸外套設(shè)有旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸與抓料架連接，旋轉(zhuǎn)電機(jī)與旋轉(zhuǎn)軸驅(qū)動(dòng)連接以驅(qū)動(dòng)抓料架旋轉(zhuǎn)，抓料架適于抓取試料盤；升降軸與加熱燈連接，加熱燈伸入抓料架內(nèi)，升降電機(jī)與升降軸驅(qū)動(dòng)連接以驅(qū)動(dòng)升降軸向所述試料盤移動(dòng)。本實(shí)用新型的試料基座，集升降、抓取、加熱及旋轉(zhuǎn)于一體，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，可方便獲得高質(zhì)量薄膜。