一種靜電狀態(tài)的容量形狀異變檢測(cè)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110217949.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112857463A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112857463A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-28 |
| 分類號(hào) | G01D21/02(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 黃澄珵;黃新生 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 艾極倍特（上海）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201400上海市奉賢區(qū)南橋鎮(zhèn)八字橋路1919號(hào)2幢8層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種靜電狀態(tài)的容量形狀異變檢測(cè)，所述電狀態(tài)的容量形狀異變檢測(cè)包括一個(gè)圓柱形外筒，所述圓柱形外筒以滑動(dòng)裝入有金屬滑動(dòng)軸，所述滑動(dòng)軸外滑動(dòng)連接有外管，且外管外設(shè)置有采樣電路，所述滑動(dòng)軸外設(shè)置有輸出裝置和電極和保護(hù)極，本發(fā)明可以制造更長(zhǎng)的測(cè)量行程,精度和分辨率不變,大大降低了其制作成本，而控制單元電極單元可以在接下來(lái)的分鐘內(nèi)分離,并且保護(hù)電極可以消除電極向性可能具有的檢測(cè)周圍的電極的雜散電容和分布電容，電極和保護(hù)電極僅的構(gòu)造，圓柱外筒等輥形狀可以是自由形狀，此外由于串聯(lián)和平行于檢測(cè)到的電容添加的半導(dǎo)體和電介質(zhì)的電阻,精度沒(méi)有降低，可有效的提高其使用范圍。?? |
