特征尺寸的偏移誤差計算方法及裝置、存儲介質(zhì)、終端

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111643956.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114440775A 公開（公告）日 2022-05-06
申請公布號 CN114440775A 申請公布日 2022-05-06
分類號 G01B11/03（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 全芯智造技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張英英;駱蘇華
地址 230088安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新大道2800號創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園二期J2C棟13樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種特征尺寸的偏移誤差計算方法及裝置、存儲介質(zhì)、方法包括：獲取待測量版圖中的待測量位置點(diǎn)，并基于待測量位置點(diǎn)的位置確定多個起始位置點(diǎn)；計算每一個起始位置點(diǎn)的特征尺寸，并基于特征尺寸的值確定第一起始點(diǎn)和第二起始點(diǎn)；以第一起始點(diǎn)和第一迭代準(zhǔn)則進(jìn)行迭代，獲得第一目標(biāo)位置點(diǎn)；以第二起始點(diǎn)和第二迭代準(zhǔn)則進(jìn)行迭代，獲得第二目標(biāo)位置點(diǎn)；基于第一目標(biāo)位置點(diǎn)的特征尺寸和第二目標(biāo)位置點(diǎn)的特征尺寸計算待測量版圖的偏移誤差。通過本發(fā)明技術(shù)方案能夠提升偏移誤差計算的效率。