電子級三氟化氯的純化系統(tǒng)及其溫差動力控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210043269.2 申請日 -
公開（公告）號 CN114538380A 公開（公告）日 2022-05-27
申請公布號 CN114538380A 申請公布日 2022-05-27
分類號 C01B7/24（2006.01）I;B01D3/14（2006.01）I;B01D3/32（2006.01）I;B01D3/42（2006.01）I 分類 無機化學;
發(fā)明人 李向如;李嘉磊;申黎明;陳施華 申請（專利權）人 福建德爾科技股份有限公司
代理機構 廈門原創(chuàng)專利事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 364000福建省龍巖市上杭縣蛟洋鎮(zhèn)蛟洋工業(yè)集中區(qū)工業(yè)路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種電子級三氟化氯的純化系統(tǒng)及溫差動力控制方法。所述純化系統(tǒng)包括：順序連接的第一哈氏合金冷凝器、第一哈氏合金升溫罐體、哈氏合金耐壓升溫罐體、3級金屬吸附劑層床、2級低溫精餾裝置、液化罐體以及穩(wěn)壓罐體；其中，所述第一哈氏合金冷凝器的進料端設置于其頂端且與反應器相連通，所述第一哈氏合金冷凝器的出料端設置于其底端且與所述第一哈氏合金升溫罐體的進料端連接；所述第一哈氏合金冷凝器用于將所述反應器產生的三氟化氯粗產品進行冷凝，從而通過溫度差來給所述反應器出口氣體提供動力。