一種電子級六氟化硫的多級制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110142779.0 申請日 -
公開（公告）號 CN112850654B 公開（公告）日 2022-06-03
申請公布號 CN112850654B 申請公布日 2022-06-03
分類號 C01B17/45（2006.01）I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 華祥斌;賴金香;張朝春;劉志強(qiáng);羅浩;邱桂祥 申請（專利權(quán)）人 福建德爾科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門原創(chuàng)專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 364000福建省龍巖市上杭縣蛟洋鎮(zhèn)蛟洋工業(yè)集中區(qū)工業(yè)路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種電子級六氟化硫的多級制備方法，包括：將氟氣通入臥式SF6反應(yīng)單元，并與硫磺蒸汽在195～205℃持續(xù)反應(yīng)形成SF6粗氣；將反應(yīng)單元SF6粗氣除塵后通入熱解單元中，將SF6粗氣中的S2F10氣體熱解；將步驟S2處理后的混合氣體通入水洗單元進(jìn)行水洗，得到一級純化氣體；將反應(yīng)單元一級純化氣體通入堿洗單元進(jìn)行堿洗，得到二級純化氣體；將反應(yīng)單元二級純化氣體通入水氣分離單元以去除水分得到三級純化氣體；將反應(yīng)單元三級純化氣體通入低壓吸附單元中吸附，得到四級純化氣體；將反應(yīng)單元四級純化氣體通入高壓吸附單元中吸附得到五級純化氣體；將反應(yīng)單元五級純化氣體通入精餾單元進(jìn)行精餾，得到電子級六氟化硫。